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７倍に高感度化（当社２０００Ｈシリーズ比）されたカメラと専用スーパーコンピュータによって欠陥を瞬く間に検出するシステムです。基本は人間の目視による検出の詳細性、高速性に着目したものです。正常部分から外れたもの、即ち欠陥を瞬時にして検出できます。従来の検査システムは、フラットな表面にある欠点を検出する機能だけしか持っていませんでした。トレンド・センシングは、プラズマディスプレイ、液晶、ブラウン管のシャドウマスクなどからエンボス付きの樹脂加工品や繊維に至るまで。表面にパターン・トレンドを持ったもの、また、紙や鉄鋼・非鉄などの分野でも、地合と呼ばれる表面変化のあるものの欠陥を安定して検出することができます。従来のシステムでは、これらのパターンはノイズとして捉えられ誤検出の大きな原因となっていました。トレンド・センシングでは、これらのパターンを目視と同様にトレンドとして捉え、その中から微妙な変化（非常に小さな欠陥や低コントラストのムラなど）を簡単に超高速で検出します。「目のニューロ」技術と相俟って遠方から微細欠陥を容易に検出し、過検出を抑え、照明の経時変化をも許容する新技術です。従来のCCD、レーザ、目視と新技術「トレンド・センシング」による性能比較を表とイラストに示します。 |
