| マルチモード | ||
| テクノス３０００Ｈは対象物の検査を秒速で行えるオンライン検査システムです。タクトの十分にあるオフライン検査システムとしても使えます。テクノス３０００Ｈは検査の様々な工程・段階で導入できます。アナライザモードにおける全面レビュー機能やオンラインモードにおけるデスクトップ・ファクトリ等が、検査・製造の部署を完璧にサポートします。 | ||
| コスト低減 | ||
| テクノス３０００Ｈはコストダウンファクターを数多く持っています。検査工程での時間短縮の大きな効果を持ち、生産量そのものまでアップすることができます。超高精度・超高速度性により目視を完全に代替し、不確実な検査基準を定量的にし、かつ見逃しを無くし、スピードアップを行うことができます。また、管理者にとってデスクトップ・ファクトリは生産状況をダイレクトに管理でき、時間コストの削減ができます。 | ||
| 対象物にフレキシブル対応 | ||
| 検査対象物は平面の切り板状のものからフィルム・鉄・非鉄等のコイル状の連続生産されるもの、３次元立体形状のものまで幅広く対応できます。テクノス３０００Ｈは超高精度を実現しているので目視検査よりも遥に遠くから検査することができます。遠距離からの検査は焦点深度が深くなり、立体形状物上の微細欠陥検査や高温物体の検査を始め、光沢物や大型構造体、半導体ウエハ上のサブミクロン単位の検査なども簡単に行えます。併せてライン振動の影響を受けにくく、さらに照明の経時変化にも強い構成です。 | ||
| 全てが見えるレビュー機能 | |||
| １枚１枚の生産になるような枚葉ものの場合には、その１枚を完全に画像として記録し、ディスプレイ上でその全てを確認できます。例えば、PDPやLCD、ブラウン管のパネルや鋼板、ガラスシート、建材等についてレビュー機能で全体を把握し拡大機能を使って欠陥部の画像データを見ることもできます。具体的には最大５１２０×１２８００画素で対象物を分解し、各画素２５６段階の明度で記録（最大記録時間６.４sec）します。オール・オーバー・ビュー・モードとディフェクト・アナライズ・モードが自由に切替えられる様になっています（写真①②）。オール・オーバー・ビュー・モードにおいては、A部分に全体画像の縮小を表示し、B部分に全体をある程度細かく見ることができる画像を表示します。B部分をより細かく表示したものがディフェクト・アナライズ・モード画面であり、欠陥の状態を詳細に確認することができます。この機能は生産タクトが十分にある場合、試験生産からの立ち上げ時、抜取検査時に極めて有効な手段を提供します。 | |||
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| リアルタイム・プリントアウト機能 | ||
リアルタイム・プリントアウト機能の標準仕様は欠陥位置（幅方向・流れ方向）、欠陥発生時間、欠陥の見え方の指標となる最大値、最小値、欠陥レベル面積（上下）が写真③のように印字されます。ロットナンバーも検査開始前のパラメータセット時に指定するだけで確実に印字されます。 |
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| デスクトップ・ファクトリ | ||
検査ラインではいろいろな電気的なノイズが発生します。微細なアナログ画像信号をカメラ内で即刻デジタル化することによってクリアな画像データの伝送が可能になり欠陥検査を的確に行えます。ノイズに強い１０ビット・デジタル・データは独自のインタフエイスでコントローラに送られます。カメラ内のデジタル化は安定検出に大きな役割を持っています。加えて交換レンズによって広角、望遠にも簡単に対応できます。  |
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