| 検出するシステムから欠陥を撲滅するシステムへ | ||
| テクノス３０１０Ｈは、従来の検査システムとまったく違うコンセプトをもって生まれた新システムです。従来の検査システムは欠陥を見つけるためだけのものでしたが、テクノス３０１０Ｈは欠陥を見つけ、さらにその発生原因を追求するためのものです。欠陥発生原因の追求、そのためにはまず欠陥を検出することから始まります。そして検出した欠陥一つ一つに対する情報からライン全体の情報までを集めることによって初めて欠陥発生原因の追求が可能になります。テクノス３０１０Ｈは、テクノス独自の外観検査技術であるトレンドセンシングテクノロジを基盤としてあらゆる欠陥を検出し、さらに個々の欠陥の詳細検査情報や画像解析情報、ライン全体の欠陥発生状況など欠陥発生原因追求のために必要な情報を豊富に提供します。 | ||
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| ＣＣＤ方式の４００倍の精度 | ||
| 従来の検査システムは目視の１/１０程度の性能しかもっていませんでした。 テクノス３０１０Ｈは、カメラ１台で検査幅１０００ｍｍに対し５０μｍの欠陥を検出可能、従来のシステムはもちろん、人間の目をも完全に凌駕する性能をもっています。 | ||
| アクティブ・ナビゲータ | ||
| 欠陥画像をリアルタイムで表示するだけでなく、 対象物のロット全体イメージ、欠陥位置情報、ドキュメントデータ、欠陥画像までを一元管理できます。 また、過去の欠陥画像やドキュメントデータを比較することもできるので欠陥発生原因の追及に大きな力を発揮します。 |
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| ラインの振動にも負けない | ||
| 検出精度が高いので遠方から検査できます。そのため高温物質体や放射性物質の検査も可能です。遠方から検査することによって焦点深度が深くなるため、ラインの振動による影響が少なく、また立体形状物の検査も安定して行えます。 | ||
| 高速応答 | ||
| 毎秒最大８８億回の演算を行うスーパーコンピュータを独自開発、高度な演算を超高速でこなし、欠陥発見からわずか１/４０秒以内で判定結果を出力します。 | ||
