| 豊富な統合管理ソフトウェアがオペレータをサポート | |||
| アナライザ（画像解析用ソフトウェア） | |||
| アナライザは、主としてオンライン検査を行うにあたり、最適なパラメータ（検査設定値）を決定するために有効な解析用ソフトウェアです。 検査対象物の取り込みデータ（５１２０×１２８００ピクセル）に対して、グレースケール原画像（２５６段階明度）をはじめ、疑似カラーによる２次元、３次元のコントラスト強調表示とその３６０°任意回転（全体および指定部分）、スレッシュホールド設定後の欠陥切り分け表示、およびこれら全画像に対する明度調整などの多様なシミュレーションと各種解析処理を行うことができます。 DOS/Vウインドウによる簡単な操作に加えて、各種の機能により視覚的にわかりやすく、容易にパラメータの作成が可能です。またこのアナライザはパラメータの検討以外にも実験用、研究用として検査現場以外の開発用途に活用することができます。 このアナライザの画像データはアクティブ・ナビゲータの欠陥画像ウインドウとリンクされ、オンライン検査中においても併行して欠陥の画像を詳細に解析することが可能です。  |
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| アクティブ・ナビゲータ | |||
| アクティブ・ナビゲータは、アナライザのデータをもとに設定したパラメータに従って、OK/NGの判定を行い、１/４０秒後に信号を出力すると同時に、欠陥画像のドキュメントデータをディスプレーに表示します。 アクティブ・ナビゲータはディフェクト・ナビゲータウインドウと欠陥画像ウインドウにより構成されます。 ディフェクト・ナビゲータウインドウはライン全体の情報を、欠陥画像ウインドウは欠陥個々の情報を提供し、欠陥の発生原因の追求に大きく役立ちます。  |
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| ディフェクト・ナビゲータウィンドウ | ||||
| 検査実行中、ウインドウ下部に欠陥の検出をリアルタイムでマップ表示するとともに、ウインドウ上部には過去に発生した全ての欠陥位置と詳細な検査データも同時に表示します。 欠陥の発生位置が検査開始から何枚目（または何メートル目）の、どの位置であるかが判定でき、ウインドウ左サイドに表示される時系列モニタリング機能（特許出願中）によりショートターム、ミドルターム、ロングタームの検査結果が並列表示され、最大８万メートル（または８万ピース）のデータ収納が可能です。また、ブロック毎のドキュメントデータ（最大値、最小値、設定上限および下限を超える欠陥面積）により検査の統合管理が行えます。 位置情報の表示は、検査員に判りやすいように欠陥の種類により色分けされ、欠陥の大きさ・種類の区分けが可能です。欠陥の発生頻度や周期的に発生する欠陥などが一目でわかり、欠陥発生原因の分析に有効です。 |
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| 欠陥画像ウィンドウ | ||||
| 欠陥が検出されると、リアルタイム且つ自動的に欠陥周辺部の画像データを切り取り、このウインドウに画像を表示します。また、ディフェクト・ナビゲータウインドウで検索した過去の欠陥の画像を複数同時に表示することにより、位置的に離散した欠陥の画像比較が容易に可能です。 このウインドウはアナライザソフトウェアとリンクしていますので、全てのアナライザ機能を操作でき、検査中においても別途のパラメータの作成や解析作業が可能なフレキシブル設計となっています。 |
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