| フィルム |
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| 偏光フィルム | 感光フィルム | 位相差フィルム | 配向フィルム | ＡＲコーティング | 反射防止フィルム | |
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| 拡散シート | プリズムシート | ポリミィドフィルム | 等 |
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| 特長 |
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| ◆ | 従来方式の6000倍（50μm欠陥検出時）の被写界深度で、フィルムのバタツキに影響されず安定した検出が行えます。 | ||
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| ◆ | アクティブ・ナビ機能を搭載することにより、周期欠陥を発見することができます。 |
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| ◆ | 薄膜のオングストローム単位の薄ムラを検出可能です。 |
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| ◆ | 人間の100倍以上の精度でムラやスジを検出することができます。 |
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| ◆ | フィルムに発生するフィッシュアイの検査が可能です。 |
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| ◆ | 色の付いたフィルムも検査が可能です。（例、透明、乳白色、白、黒 等） |
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| 主な検出欠陥 |
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| 異物 | フィッシュアイ | 縦スジ | 汚れ | 厚薄ムラ | コーティング不良 | ||
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| バリ | 横スジ | 白点 | ハジキ | 黒点 | 凹み | ||
| 横ダン | スジムラ | 打痕 | ピンホール | 傷 | 色ムラ | ||
| シミ | 抜け | スジ | 薄膜 | しわ | 等 |
| 主な欠陥画像 |
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| 白点 | ヌケ | 厚薄ムラ |
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| スジムラ |
| 詳細については、システム事業部にご連絡ください。 |
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| ＜御質問・お問合せ先＞ 株式会社テクノス |
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