精密部品 |
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撮像素子 | マイクロレンズ | ハードディスク | 等 |
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特長 |
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◆ | 撮像素子等で使われる、マイクロレンズアレイに発生した90ナノメータのクラック検査で実績があります。 |
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◆ | チップ状態の検査では素子面、ガラス面それぞれの検査が行えます。 |
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◆ | 顕微鏡で見ている画像を、広範囲に撮像することが可能です。 |
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主な検出欠陥 |
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異物 | 欠け | マイクロクラック | 凹凸 | 白点 | コーティング不良 | ||
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ムラ | 研磨ムラ | 黒点 | 凹み | 色ムラ | 塗布ムラ | ||
抜け | キズ | 汚れ | 気泡 | クラック | 歪み | ||
突起 | 等 |
主な欠陥画像 |
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キズ | 気泡 | 異物 |
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詳細については、システム事業部にご連絡ください。 |
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